一、工具顯微鏡概述：
工具顯微鏡屬于顯微鏡的一種,具有顯微鏡的放大的性質,都有目鏡、物鏡這樣的成像裝置。與普通顯微鏡不同的是，工具顯微鏡是主要用來測量計量方面的一類顯微鏡，其移動工作臺精度很高，能準確地測量產品的尺寸。
二、工具顯微鏡應用范圍：
1、測量齒輪滾刀的導程、齒形和牙型角；
2、測量電路板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢茫I槽的對稱度等形位誤差；
3、測量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀；
4、測量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角；
5、坐標測量；
6、角度測量；
7、孔徑測量；
8、高度測量。
三、工具顯微鏡的升級換代
工具顯微鏡是應用計算機輔助測量的新一代工具顯微鏡，能解決各種復雜的二維測量問題。工具顯微鏡可以測量零件的長度、角度、螺紋等諸多幾何量參數(shù)，是長度計量檢測中使用最多的一種測試儀器，因此廣泛應用于機械加工業(yè)的各類企業(yè)。但隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展以及科技的進步，傳統(tǒng)的老式萬工顯已難以滿足要求，因此很有必要對其進行技術改造。
1、數(shù)顯系統(tǒng)的改型
2、數(shù)顯系統(tǒng)的安裝
3、數(shù)顯系統(tǒng)的調試
4、數(shù)顯系統(tǒng)的檢測
四、工具顯微鏡的檢測規(guī)程
根據(jù)工具顯微鏡檢測規(guī)程中的相關規(guī)定，需要檢測讀數(shù)裝置的示值誤差、讀數(shù)裝置的回程誤差和示值誤差。
1、讀數(shù)裝置的示值誤差檢測
對數(shù)顯系統(tǒng)來說，讀數(shù)裝置的示值誤差就是數(shù)顯表的最小分辨率，即±0.5μm，無須檢測。
2、讀數(shù)裝置的示值誤差的檢測(相當于磁柵尺的重復性)
光柵尺讀數(shù)裝置就其構造和原理來說是沒有回程誤差的，當然這需要很高的工藝水平做保證通過用0.1μm的電感測微儀反復測試，光柵尺讀數(shù)裝置的回程誤差最大不超過0.5μm
3、示值誤差的檢測(相當于磁柵尺的準確性)
用檢測極限誤差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作為標準，按照規(guī)程規(guī)定的條件方法對縱、橫向分別進行檢測;若沒有玻璃刻度尺，可用工具顯微鏡原有的刻度尺與光柵尺進行比較檢測，并用儀器原有的示值誤差進行修正，以確定光柵尺各被檢點的實際誤差，若有超差再用線性補償系統(tǒng)進行補償。
